سامانه میکرو الکترومکانیکی - ویکیپدیا، دانشنامهٔ آزاد
سامانههای میکرو الکترومکانیکی، (به انگلیسی: MEMS:Microelectromechanical systems) فناوری سامانههای بسیار کوچک در ابعاد میکرومتر است. در حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع (IC) ساخته میشوند (همانند فرایندهای ...